超（chāo）純水水質指標（biāo）一般用電（diàn）阻率值或者電導率值。
超純水最高電阻率：18.25MΩ.cm，超純水最低電導率：0.05us/cm
電阻率單位：MΩ.cm(兆歐.厘米 )
電導（dǎo）單位：us/cm （微（wēi）西/厘米）
兩者基本成倒數關係（有誤差）
1/18.25=0.054
1MΩ=1*106Ω 1ms/m=10us/cm
實際水處理係統中，國（guó）家（jiā）標準（zhǔn）要求電子級超純水的電阻率需80%的時間大於17.5MΩ.cm
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